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목차
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1) ESD 정의
- 정전기 방전 현상을 뜻합니다.
- 반도체 부품의 주요 ESD 불량: 절연 파괴(dielectric breakdown), 금속선 손상(metallization damage), P-N 접합 불량(P-N junction failure), 가스아크방전(gaseous arc discharge) 등
2) ESD 평가 고려사항
- 부품의 생산, 저장 및 사용 환경에서 크기 또는 발생 빈도의 ESD가 발생하는지를 알아야합니다.
- 부품이 손상을 받을 수 있는 ESD 전압 레벨을 고려해야합니다. 즉, 불량임계치를 시험을 통하여 평가하는 것입니다.
3) ESD 모델
- 인체 모델(Human Body Model)
전하로 충전된 사람의 손이 장치의 lead에 닿았을 때 장치를 통하여 접지로 전하가 방전되면서 손상을 입히는 상황을 모델링한 것으로, 현재 ESD 내성 시험의 시험방법으로 가장 많이 채택하고 있는 모델입니다.
- 기계 모델(Machine Model)
전하로 충전된 금속이 장치에 닿았을 때, 전하가 장치를 통하여 방전하면서 손상을 받게 되는 경우를 모델링한 것으로, 정전하가 축적된 금속은 하나의 커패시터로 표현합니다.
- Device 대전 모델(Charged Device Model)
마찰 등에 의해서 장치의 lead frame에 충전되어 있던 전하가 단자를 통하여 접지로 방전하면서 장치에 손상을 입히는 경우를 모델링한 것입니다.
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